小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4″石英管和真空法兰,是专为半导体或太阳能电池基片(Z大3″)的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,Z快升温速度为 50℃/s,设有30 段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。
4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4″石英管及高真空系统(机械泵+分子泵), 是专为半导体或太阳能电池基片(Z大3″)的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,Z快升温速度为50℃/s,设有30 段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。
可滑动RTP炉OTF-1200X-4-RTP-SL是一种快速热处理炉,采用红外灯加热和移动炉体快速冷却,可获得Z高升温速率为100°C/s 、降温速率为5°C/s。
双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的双管CVD系统,是专为在金属箔上生长薄膜而设计的,特别适用于新一代能源——柔性金属箔电极方面的研究。本机可通过滑动炉体,实现快速加热和冷却。