4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV

产品型号

  4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV

主要特点

  1、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易。

  2、样品架上放置76mm的AlN基片，承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率，可使样品放置的区域有很　           好的温度均匀性（± 5℃）。

  3、内插式热偶保证了温度的准确性。

  4、采用PID自动温度控制，30段程序，并设有过热和断偶保护功能。

  5、已通过CE认证。

技术参数

  1、电源：炉体单相208-240V，50/60Hz，10KW；高真空系统AC110V/220V任意切换，50/60Hz，110W

  2、炉体结构：双层莫来石钢构

  3、石英管：外径Φ110mm，内径Φ103mm，长380mm

  4、样品架：76mm

  5、加热元件：8根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈Φ10mm，灯长300mm

  6、加热区：102mm×305mm，均匀性±5℃

  7、热偶：K型热偶

  8、温度：zui高温度1100℃，额定温度1000℃，在1000-1100℃下保温时间不得超过600s

  9、控温精度：±0.5℃

  10、zui快升温速度：RT-800℃内50℃/s，800-1000℃内10℃/s

  11、高真空系统气动时间：2min

  12、真空度：6.3×10^-5mbar（在40min中）

  13、真空法兰：KF-D25，配有两个高温O型圈密封

  14、流量计：16-160ml/min

  15、前级泵流速：在10mbar状态下3.8L/min，50Hz；4.4L/min，60Hz

产品规格

  炉体：尺寸760mm×330mm×530mm，重量50kg

  高真空系统：尺寸：600mm×600mm×700mm，重量18kg