小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP

产品型号

 小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP

  本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

  1、水：设备需配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

  2、电：AC220V 50Hz（35A空气开关），必须有良好接地

  3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）

  4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

  5、通风装置：需要

主要特点

  1、内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率，同时可延长其使用寿命。

  2、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易。

  3、样品架上放置76mm（3"）的AlN基片，承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率，可使样品放置的区

　　域有很好的温度均匀性（±5℃）。

  4、内插式热偶保证了温度的准确性。

  5、采用PID自动温度控制，30段程序，并设有过热和断偶保护功能及自整定功能。

  6、已通过CE认证。所有电器元件（>24V）都通过了UL/MET/CAS认证。若用户自行承担认证费用，本司保证

　　单台设备通过德国TUV认证和CAS认证。

  7、可增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE炉（快速热蒸发炉）。

技术参数

  1、电源：208V-240V AC，50Hz/60Hz单相，zui大功率9KW（>60A保险）

  2、炉体结构：双层莫来石钢构（不带水冷或风冷）

  3、石英管：外径Ø110mm，内径Ø103mm，长380mm

  4、样品架：76mm

  5、加热元件：8根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈Ø10mm，灯长300mm

  6、恒温区：102mm×305mm，均匀性±5℃

  7、热偶：K型热偶

  8、温度：zui高温度1100℃，额定温度1000℃（警告：在1000℃-1100℃下保温时间不超过600s，否则O型圈将被

　　　　　烧融）

   9、控温精度：±1℃

  10、zui快升温速度：RT-800℃内50℃/s，800℃-1000℃内10℃/s

  11、zui快降温速度：60℃/min（在200mtorr下），117℃/min（在一个大气压下）

  12、真空度：50mtorr（机械泵），10^-4torr（分子泵）

  13、真空法兰： 带有KF-D25高真空不锈钢法兰，配有两个高温O型圈密封

  14、流量计：16ml/min-160ml/min

  15、真空计：数字真空计，测量范围10mtorr-800torr（注意：此表在氮气下校准的，只有在氮气和空气下表

　　　　　　上显示的实际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书中的相对气体对照表，否则后果会

　　　　　　严重）

  16、水冷：如要求通冷却水，请确定冷却水流速3L/min、水温20℃、水压25PSI（建议采用循环水制冷器作为

　　　　　冷却系统）

产品规格

 尺寸：760mm×330mm×530mm；重量：45kg

标准配件

1

AIN基片

1片

2

石英样品架

1个

3

石英管

1根

4

石英挡板

4片

KF-D25快接

数字真空计

10

高温硅胶圈

6个

11

聚氨酯水管（外径Ø12mm、内径Ø8mm）

1根

14

4A保险

2个

  2、波纹管（KF-D25接口）（1m）

  3、KF-D25快接

  4、防腐型数字式真空显示计（测量范围3.8×10^-5torr-1125torr，不需要因测量气体的种类不同而进行系数转换）

  5、RS485串口和控温软件

注意事项

  1、炉管内气压不可高于0.02MPa。

  2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。（建议选购本司的减压阀，量

　　程为0.01MPa-0.1MPa，更加精确安全）

  3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

  4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

  5、石英管的长时间使用温度<1100℃。

  6、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时

　　刻关注压力表的示数。若气压表示数大于0.02MPa，必须立即打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破

　　裂、法兰飞出等）。