详细介绍
产品型号 | 双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS |
主要特点 | 1、采用高纯Al2O3保温材料,保证了炉膛有*的温度均匀性,内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以 提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。 2、设有双石英管,金属箔缠绕在内管的外表面上,以发生CVD反应。 3、双管的真空密封法兰允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管。 4、配有四通道质量流量计控制4路气体,及采用KF25快接和波纹管连接的高速机械泵。 5、底部设有滑轨,炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温。 6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。 |
技术参数 | 1、电源:单相208-240V AC 50/60Hz 2.5KW(20A保险丝) 2、石英管:外管外径Φ100mm,内径Φ96mm,长1400mm 内管外径Φ80mm,内径Φ75mm,长1400mm 3、加热区:440mm 4、恒温区:120mm(双温区炉可获得240mm) 5、工作温度:zui高温度1100℃,连续温度1000℃ 6、控温精度:±1℃ 7、升降温速度:在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效率
8、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(分子泵) 9、真空法兰:SS304不锈钢,配有两个高温O型圈密封 10、流量计:4路精密质子流量计,气体流量自动控制(数字显示) MFC1范围0-100sccm MFC2范围0-200sccm MFC3范围0-200sccm MFC4范围0-500sccm 11、流量精度:0.2% 12、进出气口:1/4″卡套 |
产品规格 | 尺寸:550mm×380mm×520mm;重量:138kg |
可选配件 | 1、铜箔(150m×150mm×25µm,生长石墨烯用) 2、防腐型数字真空计 |
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