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产品分类CLASSIFICATION
1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉GSL-1100X-8.5-SR-III是三温区滑轨真空管式炉，可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下，在Z大6″的基片上生长多种薄膜。
1100℃三温区11″管式炉GSL-1100X-11-III是三温区大尺寸系列管式炉，炉管直径达到11″。本机广泛用于真空或气氛保护环境下对材料进行烧结。
大口径管式真空气氛炉GSL-1100X采用高纯石英管，外径规格有6″、8″、8.5″、11″可选，并配有不锈钢法兰，可进行抽真空或通入其他气氛气体操作，主要用于大尺寸样品烧结的需求。
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