GSL-1800X-ZF-AM连续式多腔室蒸发镀膜系统

产品简介

GSL-1800X-ZF-AM连续式多腔室蒸发镀膜系统是一款高真空的可连续进样的蒸发镀膜仪，主要由传递室和蒸发镀膜室两部分组成，基片架可以在传递室和溅射室实现往复运动，由调频电机控制，自动同步运行，且往复位置和运动速度均可以设定，两室内均有定位功能，可实现原点复位。特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等）和小分子的有机物。本机设有4个蒸镀加热舟，每个加热舟都可独立进行蒸镀，加热舟上方有一个可旋转挡板，当其中一个加热舟进行蒸镀时挡板将其它三个钨舟遮住，以防蒸镀材料之间相互污染。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜理想且性价比较高的实验设备。GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪腔底部配有5个水冷电极，在工作过程中可有效保护电极温度不会因温度过高而熔化，进而损坏电极。该机采用金属腔室，具有高的真空度，真空度可达到5.0×10^-7torr，样品台可对样品进行加热，加热温度为室温-500℃，是进行高真空蒸发镀膜的设备。

主要特点

• 由传递室和蒸发镀膜室两大部分组成，可实现快速连续的进样蒸发镀膜。

• 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

• 采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。

• 真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，提升效率）、1个CF150闸板阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、6个CF35法兰（1个安装电离规，1个安装2芯电极，1个安装膜厚仪）3个备用。

• 在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。

• 样品台安装在腔体的顶部。

• 腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，膜厚测量分辨率（铝）为0.1Å。

• 可使用循环水冷机。

技术参数