加热台主要用于VTC-600-2HD双靶、VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪及GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪的样品台的加热。

密封装置主要用于在真空腔室上垂直安装圆柱型元器件，安装孔径为19.2mm。

不锈钢弯头共2个接口，两接口为90°垂直且共面分布，主要用于连接真空腔室与相关配件。

四通阀包含3个接口、1个阀门，呈垂直且共面分布，其中2个KF40接口、1个KF25接口（可根据用户要求改制），主要用于连接真空腔室与分子泵及真空规管，如磁控溅射仪、蒸发镀膜仪的高真空腔室。

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片极限尺寸为2″，放置样品的直径为Ø50mm，加热温度达500℃。可溅射金、银、铜三种靶材，不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。采用PLC控制面

GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜（如金、铂、铟、银等）而设计，Z大放置样品尺寸直径为40mm，膜厚可达300Å，特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。