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GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪

简要描述:GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜(如金、铂、铟、银等)而设计,Z大放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300Å,特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。

  • 产品型号:GSL-1100X-SPC-12
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2016-04-05
  • 访  问  量:2751

详细介绍

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产品型号

    GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪

主要特点

    1、可以调节电流大小,可设置溅射时间。

    2、已经过CE认证。

技术参数

    1、输入电源:208V-240V  50Hz/60Hz

    2、样品台:Φ60mm,高度可调节

    3、石英腔体:Φ100mm×130mm

    4、进气口:内部装有阀门,可以向腔体内通入各种气体

    5、靶材:纯度为4N的金靶,Φ57mm×0.12mm

                      

产品规格

 尺寸:480mm×320mm×150mm;重量:20kg

可选配件

    1Au(Φ57mm×0.12mm4N

    2Pt(Φ57mm×0.12mm4N

    3Ag(Φ57mm×0.5mm,4N

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