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1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉GSL-1100X-8.5-SR-III

简要描述:1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉GSL-1100X-8.5-SR-III是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下,在Z大6″的基片上生长多种薄膜。

  • 产品型号:GSL-1100X-8.5-SR-III
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2016-04-07
  • 访  问  量:807

详细介绍

 

产品型号

  1100℃三温区带滑轨8.5管式炉GSL-1100X-8.5-SR  -III

主要特点

  1炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高设备     的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。

  2滑轨式法兰结构,方便取放样品。

  3设有K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

  4三个加热区域实现更长的温度区和一个特定的温度梯度

  5采用三个PID控制器 ,通过可控硅来进行温度控制,可以设置30段升降温程序。

  6右端法兰装载石英管堵,用以阻止热辐射;左端法兰上设有4片磨砂石英挡片,用于阻止热辐射。

  7已通CE认证。

技术参数

  1电源:单相220V  8KW

  2、石英管:外径Φ216mm,内径Φ208mm,长1300mm

  3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

  4、加热区域:长900mm

  5、温区:3个,各300mm

  6恒温区域500mm(三个温区设置一样的温度)

  7、工作温度:zui高1100连续工作400-1000

  8、zui大升降温速率:10/min

  9、控温精度:±1

  10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

  11热偶检测口:1

  12、真空接口:KF-25

  13、进气接口:5路,精密不锈钢针阀密封

  14、炉体:1000mm×700mm×1060mm

  15、滑轨:600mm

产品规格

  尺寸:1780mm×1780mm×1650mm重量:354kg

标准配件

1

  石英管堵

1

2

  KF-25真空挡板阀

1

3

  KF-40不锈钢波纹管

1

可选配件

  1软件接口模块和PC

  2K型热电偶(Φ6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)

  3冷水机

 

  

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