EQ-500SP注射泵属于推进式注射泵,注液速度可在一定范围内进行调节,可根据实验需求不同设置不同的注液速度,满足不同实验要求的需要。注射器的容积不同,装液量有所不同,该设备标配20ml注射器。
HVC-SS高真空腔体用于自行搭建实验真空系统,如等离子溅射、CVD或ALD等实验,同时也可作为高真空储存箱。
2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2可安装直径为2“的靶材,适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形NdFeB永磁体在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。
1英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-1-LD可安装直径为1“的靶材。可与直流、脉冲直流和射频电源相匹配,因此可溅射各种靶材(如金属、陶瓷、磁性和非磁性靶材等)。且采用高真空的结构设计,可提高镀膜质量。
100W小型手动匹配型射频电源RF-100-LD频率为13.56MHz,专门与本司1“的磁控溅射头配用,可搭建成一套较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。