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RF-100-LD 100W小型手动匹配型射频电源

简要描述:100W小型手动匹配型射频电源RF-100-LD频率为13.56MHz,专门与本司1“的磁控溅射头配用,可搭建成一套较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2018-09-12
  • 访  问  量:2991

详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产

产品型号

  100W小型手动匹配型射频电源RF-100-LD

技术参数

  1、电源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz

  2输入功率:5W-100W(可调),稳定性±1%        

  3射频频率:13.56MHz,稳定性±0.005%

  4、匹配:手动匹配

  5、冷却:风冷

  6、噪音:<50dB

产品规格

  尺寸:390mm×260mm×105mm

可选配件

  11"高真空磁控溅射头,可自行搭建RFDC溅射镀膜仪。

     

  2、同时购买100W射频发射器和1"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75",可将溅射

    头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚不得大于1"

        

  3、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L

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