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RF-300I-LD 300W小型自动匹配型射频电源

简要描述:300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD将自动匹配器和13.56MHz的射频电源集成在一起,可以自动匹配容抗和感抗,使得安装和操作更加方便容易。配用本司的磁控溅射头可自行搭建磁控溅射镀膜仪。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2018-11-05
  • 访  问  量:1196

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产

       RF-300I-LD 300W小型自动匹配型射频发生器主要适用于我公司制造的VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪和VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪。该射频发生器在工作时将自动匹配器和13.56MHz的射频电源集成在一起,可以自动匹配容抗和感抗,使得安装和操作更加方便容易;输入功率可根据需要自行进行调整,调整范围在5W-300W;冷却过程采用空气冷却,无需采用其它冷却设备,节约了设计成;噪音极低,对环境几乎无污染。该发生器配用本司的磁控溅射头可自行搭建磁控溅射镀膜仪对样品进行镀膜操作。

产品型号

  300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD

 

技术参数

  1、电源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz

  2输入功率:5W-300W(可调),稳定性±1%        

  3射频频率:13.56MHz,稳定性±0.005%

  4、匹配:自动匹配,空气电容

  5、冷却:空气冷却

  6、噪音:<50dB

产品规格

  尺寸:480mm×400mm×140mm

 

可选配件

  12"高真空磁控溅射头,可自行搭建RFDC溅射镀膜仪。

          

  2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75",可将溅射

  头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚不得大于1"

        

  3、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L

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