HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控溅射头

产品型号

  2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2

主要特点

  1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。

  2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布。

  3、磁体表面涂有保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命。

  4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配。

  5、安装采用标准真空接头，便于操作。

  6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。

技术参数

  1、阳极护罩直径：Φ3.5"

  2、所用靶材：直径2"（50.8mm），非磁性靶zui大厚度1/4"，磁性靶zui大厚度1/16"      

  3、磁铁：NdFeB稀土永磁体

  4、靶材利用率：30%

  5、所需功率：DCzui大1000W，RFzui大500W

  6、溅射电流：zui大3A

  7、溅射电压：100V-1000V

  8、溅射时腔体真空度：5mtorr-100mtorr

  9、溅射均匀性曲线：

  10、水冷却：水管外径0.25"，流速0.8GPM，进水温度<20℃                    

产品规格

可选配件

  1、循环水冷机，流量为16L/min，水箱容积为6L。

  2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时，本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75"，可将溅射

 　  头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1"，真空腔体的壁厚不得大于1"。