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1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8

简要描述:1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8外炉管直径达到11″,内管直径8.5″,在加热管一端装有一对高真空不锈钢法兰,法兰上配有机械压力表和阀门,三个温区都采用30段可编程数字控温器,并配有K型热电偶进行测温,专门针对于在金属箔上生长薄膜物质。

  • 产品型号:GSL-1100X-III-D11-8
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2016-04-12
  • 访  问  量:1004

详细介绍

 

产品型号

  1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8

主要特点

  1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<70℃。内炉膛采用高纯度氧化铝材料,可以zui大程度的减少能量的损失

        

  2采用不锈钢真空密封法兰,使用硅胶密封圈进行密封

  3采用三个PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。

  4、加热前需将石英管堵放入炉管,防止热量以热辐射的形式散失。

  5、使用内管进行薄膜生长可放置zui大8基片。

  6、已通过CE认证。

技术参数

  1电源:单相AC 220V  50/60Hz   8KW(需50A的空气开关)

  2、石英管:外管外径Φ279mm,内径Φ269mm,长1300mm,两端打开,可连接法兰

                        内管外径Φ216mm,内径Φ206mm,长750mm,一端封闭,一端连接气体出入口

  3、加热元件:NiCrAl电阻丝

  4、加热区域:长900mm

  5、温区:3个,各300mm

  6恒温区域500mm(三个温区设置一样的温度)

  7、工作温度:zui高1100℃(<1h连续工作200-1000

  8、zui大升降温速率:10/min

  9热电偶:3个,K

  10、控温精度:±1

  11、真空度:10-2torr(机械泵)

  12法兰:左侧法兰包括化学气相淀积进气口和冷却气体进出口,右侧法兰设有KF-40真空接口和真空阀门

产品规格

  尺寸:不包含真空法兰1300mm×623mm×940mm,包含真空法兰1670mm×623mm×940mm

  重量:200kg

可选配件

  1石英管堵

  2PC控温软件

  3KF-40KF-25接头

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