PCE-66紫外臭氧清洗机（带搅拌机构）是一款小型紫外臭氧清洗机，可用于清洗各种单晶基片，以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。内置加热管，可加热基片，加热温度上限150℃，PID方式控温，可设置30段升降温程序。带有搅拌功能，用作氧化物包括干法电极电池正极材料的表面处理。

PCE-66紫外臭氧清洗机是一款小型紫外臭氧清洗机，可用于清洗各种单晶基片，以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。内置加热管，可加热基片，最高加热温度150℃，PID方式控温，可设置30段升降温程序。

PCE-22紫外臭氧清洗机提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。

PCE-22-LD紫外臭氧清洗机采用不需要任何溶剂的干式清洗技术，对清洗表面没有损伤。采用大功率低压石英汞灯，产生波长185nm和254nm的紫外线，185nm的光可以将氧分子O2转变成活性的臭氧分子O3，254nm的光同时激发清洗表面的有机分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在时间短，且同时也被254nm的光分解，因此可调节样品台到灯管的距离来优化性能。