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GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统，主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件的环境下活化和清理材料（如单晶片、光学元件、塑料等）表面杂质，且清理速度迅速。本机是为获得高质量的外延薄膜或光学涂层进行预先表面处理的合适的工具选择。具有一个样品台，将样品固定在样品台上后可进行X
PCE-3等离子清洗机使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染，在射频电源的作用下，Z大去除速率为10nm/min。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理，将对生长具有显著的作用。
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