等离子清洗机

主要特点

 1、采用6″彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。

 2、内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量。

技术参数

 1、电源:AC220V

 2、射频功率:zui大100W,可在0-100W间调节

 3、真空泵功率:<500W

 4、总功率:<600W

 5、射频:13.56MHz

 6、等离子腔体:高纯石英腔体,外径 Φ8.5 ",内径 Φ8.2 ",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密

                               封,法兰设有一个Φ60mm的观察窗口

 7、极限真空度:50mtorr

 8、通入气体:可通入多种气体,如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合气体等等(根据材料性质所定)

清洗及蚀刻

产品规格

 尺寸:620mm×450mm×600mm

标准配件

 1、直连式双旋真空泵(240L/min)

 2、KF25波纹管

 3、KF25手动挡板阀

可选配件

 1、300W、600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验)

 2、2″-6″石英舟(盛放基片)

 3、2-4通道浮子混气系统

 4、2-4通道质子混气系统