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GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

简要描述:GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪配备了热蒸发附件,具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。本机能够满足扫描电子显微镜样品的制备和非导体材料实验电极的制作,也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-01-26
  • 访  问  量:3162

详细介绍

品牌其他品牌价格区间1-5万
产地类别国产应用领域化工,生物产业,石油,地矿,电子/电池

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪配备了热蒸发附件,具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪能够满足扫描电子显微镜样品表面喷金、蒸金或蒸碳过程使用以及非导体材料实验电极的制作,也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。本机体积小,节省实验室空间,操作简单,清理方便,适合初学人员的使用,尤其适用于各大高校的实验室、科研院所、及各企业的实验室的使用。配备了热蒸发附件,可以蒸发碳丝或者其他材料,如铝、不锈钢等材料,同时具有溅射和蒸发的功能。因此扩展了应用范围,特别适用于扫描电镜样品表面喷金或蒸金、蒸碳使用。

产品名称GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪
产品型号
GSL-1100X-SPC-16C
安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)
4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
5、通风装置:不需要
主要参数
1、靶:Ø50mm
2、样品台:Ø50mm
3、真空室:Ø160mm×110mm
4、真空度:4×10-1mbar-2×10-2mbar
5、极限电流:50mA
6、可设定极*:9999s
7、极限电压:1600V  DC可调
8、真空泵:4L两级机械旋转泵,极限真空2×10-2mbar(也可选配国产分子泵)
产品规格

尺寸:L400mm x W310mm x H390mm    
重量:50 kg

标准配件1金靶材1个
2碳绳1根
3热蒸发附件1套
4进气针阀1个
5保险丝2个
可选配件金、铟、银、铂等各种靶材



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