德国小型涡轮分子泵EQ-PV-HVS配有KF40真空波纹管和KF25真空计，真空范围从10-3mbar -10-7mbar，启动后短时间即可获得较高的真空水平，且运行噪音非常低。

高质真空泵（240L/min）YTP550-4E16A是可连续24h工作的旋片式真空泵，其出气口上配有立式油污过滤器，可以减少泵油的损耗，同时避免环境污染。

进口无油真空泵（226L/min）ACP15因为泵内无油，所以在真空状态下无油雾产生，从而为实验提供了一个洁净的低压环境，特别适合与我司管式炉配合使用，组成低压CVD系统。

单级旋片式真空泵TW-3A配有油污过滤器，可以过滤真空泵在工作时产生的油烟，不仅保护人体健康，而且避免对环境的污染。

双级旋片真空泵2TW-4C可定制110V。

双级旋片式真空泵VRD系列包括VRD-8、VRD-16。