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实验室分析设备
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EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合*的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。
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