VTC-100PAH真空旋转涂膜机

简要描述：VTC-100PAH真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAH真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机，采用了优良的设计理念，配合精密的运动控制系统，可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。设备腔体采用聚丙烯材质，具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空，工作时利用真空吸盘及气路管线与外部真空泵相连，能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上

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更新时间：2025-02-13
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品牌	其他品牌	产地类别	国产

产品简介 VTC-100PAH真空旋转涂膜机

VTC-100PAH真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAH真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机，采用了优良的设计理念，配合精密的运动控制系统，可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。设备腔体采用聚丙烯材质，具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空，工作时利用真空吸盘及气路管线与外部真空泵相连，能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上，此方式操作简便、样件取放自如，吸盘真空度可达到﹣0.08MPa。旋转主轴采用高速直流无刷电机，噪音低、振动小、运行更加平稳、可靠性高、适应性强、维修与保养简单，电机启动快速稳定，加速后运行平稳，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAH真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便，体积小巧等优点，主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。

技术参数 VTC-100PAH真空旋转涂膜机

产品名称	VTC-100PAH真空旋转涂膜机
产品型号	VTC-100PAH
安装使用条件	1、温湿度：10-85%RH (at 25℃ 无凝露）温度：0-45℃。 2、设备周围无强烈震源和腐蚀气体。水源无此需求 3、电源：AC100-240V 50/60Hz 国标三极插座 10A 必须有良好接地 4、气源：真空负压（真空泵）：抽气流量不小于 70L/M 5、工作台：建议 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固体水泥台为佳） 6、通风装置：无特殊要求
技术参数	1、设备供电：DC24V 标配适配器：IN AC100-240V 50/60Hz OUT DC24V 15A 2、总功率：150W(不含外接真空泵） 3、主机腔体（材质）：聚丙烯+亚格力 4、载样盘（吸盘）：2英寸、 4英寸各一个 5、运行程序：包含16个运行阶段 6、涂膜转速：1500-20000rpm有效(递增量为：100rpm为单位) 7、增加速率设置范围：100 rpm/s—6000 rpm/s 8、减速停车速率范围：100 rpm/s—3000 rpm/s 9、时间设定范围：1-99s(设定速度范围：1500至10000rpm)； 1-60s(设定速度范围：大于10000至20000rpm) 10、真空接口：快插接头，采用φ8 PU管连接 11、操作控制方式：7寸触摸屏(人机界面）
产品规格	重量：12kg 外形尺寸：250×340×320mm
备注	设备随机标配“电源适配器"，其规格参数为：IN：AC100-240V 50/60Hz OUT：DC24V 15A，设备实际供电以产品后部标牌参数为准。