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详细介绍
| 价格区间 | 面议 | 产地类别 | 国产 |
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产品型号 | ME-L全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪 | ||
主要特点 | 1、采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm) 2、可实现穆勒矩阵数据处理，测量信息量更大，测量速度快、数据更加精准 3、基于双旋转补偿器配置，可一次测量获得全部穆勒矩阵的16个元素，相对传统光谱椭偏仪可获取更加丰富全面的测量信息 4、确保在宽光谱范围内，提供优质稳定的各波段光谱 5、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料 6、集成对纳米光栅的分析，可同时测量分析纳米结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息 | ||
技术参数 | 1、应用：科研级/企业级 2、基本功能：Psi/Delta、R/T、穆勒矩阵等光谱 3、分析光谱：380-1000nm(支持扩展至210-1650nm) 4、单次测量时间：1-8s 5、重复性测量精度：0.005nm 6、精度(直通测量空气) 椭偏参数:ψ=45±0.05°△=0±0.1° 穆勒矩阵:对角元素m=1±0.005；非对角元素m=0±0.005 7、光斑大小：大光斑2-3mm；微光斑200μm | ||
可选配置 | 波段选择 V:380-1000nm UV:245-1000nm XN:210-1650nm DN+:193-2500nm 角度选择 自动:45-90° 手动:55-75°(5°步进),90° 固定:65° 其他选择 Mapping选择:100×100mm(供参考,按需定制) 温控台:室温一600C(供参考,按需定制) | ||
可选配件 | 1 | 温控台 |
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2 | Mapping扩展模块 |
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3 | 真空泵 |
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4 | 透射吸附组件 | ||
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