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详细介绍
产品型号 | SKJ-50晶体生长炉 |
主要特点 | 1、与同类相比属于小型晶体生长炉,适合于大专院校、研究所使用。 2、电子称在生长过程中可自动控制晶体的直径。 |
技术参数 | 1、电源:三相380V 25KW 2、感应射频:功率25KW,射频0.2-20KHz 3、真空腔体:Φ500mm×700mm 4、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(扩散泵泵) 5、zui大提拉行程:500mm 6、提拉速度:0.1-20mm/h 7、籽晶杆旋转速度:0-40rpm 8、zui大可熔融温度:2100℃ 9、控温精度:<±0.2℃ 10、冷却水:所需水压0.13-0.18MPa,所需流量60L/min 11、移动速度:1mm/h-10mm/h可调 12、快速移动:手动 13、结晶转速:1-50rpm 14、真空系统:机械泵和扩散泵 15、极限真空度:10-5torr |
产品规格 | 1、炉体:880mm×1250mm×2850mm 2、控制柜:680mm×540mm×1700mm 3、中频柜:1100mm×500mm×1500mm 4、总重:1500kg |
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