1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV

产品型号

  1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV

主要特点

  1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。

  2、采用高纯氧化铝纤维，有效减少热量损失。

  3、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率和使用寿命。

  4、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。

  5、已通过CE认证。

技术参数

  管式炉

  1、电源：单相AC 208-240V   50/60Hz  6KW

  2、炉管：高纯氧化铝陶瓷管，外径Φ100mm，内径Φ92mm，长1000mm

  3、加热元件：1800℃硅钼棒8根

  4、加热区域：457mm

  5、恒温区域：150mm

  6、工作温度：zui高1650℃，连续工作1600℃

  7、zui大升温速率：≤5℃/min

  8、控温精度：±1℃

  9、热电偶：B型

  10、不锈钢真空法兰：1对

  11、机械压力表：1个

  12、针阀：2个

  13、连接器：KF-25，1个

  14、抽气接口：KF-25转KF-40

  15、卡套接头：1/4″

  高真空机组

  1、电源：单相AC208-240V  50/60Hz  100-110W

  2、真空泵：德国Pfeiffer真空泵

  3、显示屏：LCD数字显示

  4、抽气速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s

  5、工作范围：1000mtorr-10^-7mtorr

  6、极限：10^-8mtorr（无泄漏）

  质量流量混气系统

  1、电源：单相AC208-240V  50/60Hz   18W

  2、功率：18W

   3、混气箱：Φ80mm×120mm

产品规格

  尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，高真空机组600mm×600mm×700mm，质量流量混气系统600mm×

              600mm×700mm