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1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

简要描述:1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV是由单温区管式炉、三路浮子混气系统和双旋片式真空泵组成,Z高工作温度可达1700℃,混气系统可以对三种气体进行精确的混气,真空度可达5×10-2 torr。

  • 产品型号:GSL-1700X-F3LV
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2016-04-12
  • 访  问  量:1627

详细介绍

 

产品型号

  1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

主要特点

  1双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<55℃。

  2采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,有效减少能量损失。

  3内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率和延长使用寿命

  4PID控制器 ,可以设置30段升降温程序,并设有过热和断偶保护功能。

  5通过CE认证。

技术参数

  管式炉

  1电源:单相AC 208-240V   50/60Hz  5KW

  2、炉管:99.8%高纯氧化铝陶瓷管,外径Φ80mm,内径Φ72mm,长1000mm

  3、加热元件:1800级硅钼棒8

  4、加热区域:457mm

  5、恒温区域:150mm

  6工作温度:zui高1700

  7、zui大升降温速率:5/min

  8、控温精度:±1

  9、真空度:5×10-2 torr

  10、泄漏率:zui大6mtorr/min

  真空系统

  1、真空泵:双旋片机械泵

  2、可达真空度:5×10-2 torr

  3、法兰:不锈钢密封法兰

  4、针阀:2个不锈钢针阀

  5、真空泵接口:KF-25

  6、软管接头:1/4

  7、真空显示计:LED数字式真空显示计,测量范围0.1mtorr-850torr

  浮子流量混气系统

  1、浮子流量计:3个,精确度4%FS

  2、流量计范围:10-100cc/min16-160cc/min25-250cc/min

  3、压力表:1个,监测混合气体压力

产品规格

  尺寸:管式炉550mm×500mm×700mm,混气系统600mm×600mm×700mm,真空机组600mm×

             600mm×700mm

  重量:210kg

可选配件

  防腐型数字真空显示计

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