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产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
产品型号 | 1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV |
主要特点 | 1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<55℃。 2、采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,有效减少能量损失。 3、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率和延长使用寿命。 4、采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序,并设有过热和断偶保护功能。 5、已通过CE认证。 |
技术参数 | 管式炉 1、电源:单相AC 208-240V 50/60Hz 5KW 2、炉管:99.8%高纯氧化铝陶瓷管,外径Φ80mm,内径Φ72mm,长1000mm 3、加热元件:1800℃级硅钼棒8根 4、加热区域:457mm 5、恒温区域:150mm 6、工作温度:zui高1700℃ 7、zui大升降温速率:5℃/min 8、控温精度:±1℃ 9、真空度:5×10-2 torr 10、泄漏率:zui大6mtorr/min |
真空系统 1、真空泵:双旋片机械泵 2、可达真空度:5×10-2 torr 3、法兰:不锈钢密封法兰 4、针阀:2个不锈钢针阀 5、真空泵接口:KF-25 6、软管接头:1/4″ 7、真空显示计:LED数字式真空显示计,测量范围0.1mtorr-850torr | |
浮子流量混气系统 1、浮子流量计:3个,精确度4%FS 2、流量计范围:10-100cc/min,16-160cc/min,25-250cc/min 3、压力表:1个,监测混合气体压力 | |
产品规格 | 尺寸:管式炉550mm×500mm×700mm,混气系统600mm×600mm×700mm,真空机组600mm× 600mm×700mm 重量:210kg |
可选配件 | 防腐型数字真空显示计 |
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