1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

产品型号

  1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

主要特点

  1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。

  2、采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，有效减少能量损失。

  3、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率和延长使用寿命。

  4、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序，并设有过热和断偶保护功能。

  5、已通过CE认证。

技术参数

  管式炉

  1、电源：单相AC 208-240V   50/60Hz  5KW

  2、炉管：99.8%高纯氧化铝陶瓷管，外径Φ80mm，内径Φ72mm，长1000mm

  3、加热元件：1800℃级硅钼棒8根

  4、加热区域：457mm

  5、恒温区域：150mm

  6、工作温度：zui高1700℃

  7、zui大升降温速率：5℃/min

  8、控温精度：±1℃

  9、真空度：5×10^-2 torr

  10、泄漏率：zui大6mtorr/min

  真空系统

  1、真空泵：双旋片机械泵

  2、可达真空度：5×10^-2 torr

  3、法兰：不锈钢密封法兰

  4、针阀：2个不锈钢针阀

  5、真空泵接口：KF-25

  6、软管接头：1/4″

  7、真空显示计：LED数字式真空显示计，测量范围0.1mtorr-850torr

  浮子流量混气系统

  1、浮子流量计：3个，精确度4%FS

  2、流量计范围：10-100cc/min，16-160cc/min，25-250cc/min

  3、压力表：1个，监测混合气体压力

产品规格

  尺寸：管式炉550mm×500mm×700mm，混气系统600mm×600mm×700mm，真空机组600mm×

             600mm×700mm

  重量：210kg

可选配件

  防腐型数字真空显示计