带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV

产品型号

  带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV

主要特点

  1、双层壳体，配有冷系统，炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料。

  2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。

  3、一端法兰配有滑轨，便于样品装卸；另一端法兰装有数字真空计。

  4、采用三个独立PID控制器 ，可以设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

  5、已通过CE认证。

技术参数

  1、电源：单相AC 208-240V   50/60Hz  7KW （40A保险丝）

  2、石英管：外径Φ125mm，内径120mm，长1400mm，带有一对真空密封法兰

  3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝

  4、加热区域：温区I长229mm，温区II长457mm，温区III长229mm，总长915mm

  5、恒温区域：三个温区为同一温度时为625mm，温区II为110mm

  6、工作温度：zui高1200℃，连续工作1100℃

  7、zui大升降温速率：20℃/min

  8、控温精度：±1℃

  9、热电偶：K型

  10、浮子流量计：3个，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min

  11、数字真空计：10^-4torr

产品规格

  尺寸：管式炉1080mm×430mm×600mm；重量：70kg