高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV

产品型号

  高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV

主要特点

  1、双层Al₂O₃纤维钢构，无需水冷或风冷。

  2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

  3、PID控制器 ，可以设置30段升降温程序，并设有过热保护和断偶功能。

  4、已通过CE认证。

技术参数

  1、电源：单相208-240V AC  50/60Hz  10KW

  2、石英管：外径Φ110mm，内径Φ103mm，长380mm

  3、加热元件：8根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈Φ10mm，灯长300mm

  4、加热区：300mm

  5、工作温度：zui高温度1100℃

  6、控温精度：±0.5℃

  7、zui高升温速度：RT-800℃时为50℃/s，800℃-1000℃时为10℃/s

  8、温控仪：可控硅（SCR）PID自动控制

  9、真空法兰：不锈钢，带有水冷接口和针阀，双层高温O型圈密封，长时间在>900℃条件下运行必须采用水　 　 　 　 　         冷，循环水流量为0.5m³/hr

  10、真空度：10^-2torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

  11、质量流量计：3个，MFC1范围0-100sccm，MFC2范围0-200sccm，MFC3范围0-500sccm，精度1±%FS

  12、混气罐：Φ80mm×120mm

产品规格

  尺寸：炉体760mm×330mm×530mm，真空混气系统600mm×600mm×597mm

  重量：炉体45kg，真空混气系统75kg