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详细介绍
产品型号 | 开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV |
主要特点 | 1、双层壳体,配有循环风冷系统,壳体温度<60℃。 2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率,同时延长使用寿命。 3、采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。 4、设有超温及断偶报警功能。 5、已通过CE认证。 |
技术参数 | 1、电源:AC 220V 50/60Hz 2.5KW 2、石英管:外径Φ80mm,内径Φ75mm,长1000mm 3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝 4、加热区域:440mm 5、恒温区域:150mm 6、工作温度:zui高1200℃,连续工作1100℃ 7、zui大升降温速率:20℃/min 8、控温精度:±1℃ 9、真空度:5.5×10-3torr(机械泵),10-4torr(分子泵) 10、泄漏率:<5mtorr/min 11、浮子流量计:3个;10-100ml/min,16-160ml/min,25-250ml/min 12、压力表:4个 |
产品规格 | 尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,混气系统600mm×600mm×597mm;重量:60kg |
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