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VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机

简要描述:VTC-100PAD 真空加热旋转涂膜机适用于半导体、晶体及光学元件等材料的表面涂覆与薄膜制备。设备兼容强酸、强碱等腐蚀性溶液,满足多样化工艺需求。标配3英寸加热铝制真空吸盘(支持定制),通过真空吸附固定样品,确保运行稳定与定位精度。系统支持多段程序控制(最多6段),实现转速分段调节与平滑加速,提高薄膜均匀性并减少材料浪费。结构紧凑、操作简便,适用于科研及实验室应用。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2026-04-13
  • 访  问  量:8

详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产

VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机

·采用真空吸附方式固定样件,操作简便,定位可靠,真空度可达 -0.08 MPa。

·配有样品定位工具,可快速实现样件居中,减少偏心引起的震动或飞片现象。

·可根据不同样件尺寸配置不同规格真空吸盘,吸盘具有加热功能,且更换方便。

·采用24V直流无刷电机,运行平稳、噪音低、振动小,启动和加速稳定,可有效保证涂层厚度的一致性和均匀性。

·配备无油双缸真空泵,结构简单、体积小、维护方便、无油污染。

·腔体采用聚四氟乙烯(PTFE)材质,耐强酸强碱腐蚀,抗应力开裂性能好,使用寿命长;机身采用铸铝结构,坚固耐用且重量轻。

·支持在惰性气体气氛(如 Ar、N₂)环境下进行涂层制备。

·采用 PLC 控制系统与触摸屏操作界面,参数显示直观,操作方便可靠。

·设备具有开盖安全保护功能,运行过程中打开上盖设备将自动减速直至停止,提高设备安全性。


VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机

产品名称

VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机

产品型号

VTC-100PAD

安装条件

1、温湿度:10-85%RH (at 25℃ 无凝露) 温度: 0-45℃。

2、设备周围无强烈震源和腐蚀气体。

3、水:设备配有排污下水口

4、电:单相:AC220V 50Hz 国标三极插座 10A 必须有良好接地

5、气:真空负压(真空泵) 抽气流量不小于 70L/min(设备可通保护惰性气体;如:Ar N2)

6、工作台:建议 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固体水泥台最佳)

7、通风装置:无特殊要求

主要参数

1、供电接口:AC220 50Hz

2、涂膜腔体(材质):聚四氟

3、载样盘(吸盘):3英寸铝制真空吸盘1个(其他尺寸真空吸盘可定制)

4、运行方式:包含1组程序,每组程序包含 6 个运行阶段

5、涂膜转速:500rpm-10000rpm 有效(转速递增量为100rpm)

6、涂膜时间:每段时间范围:1-9999s

7、转速稳定性:±1%

8、控制方式:PLC编程器+触摸屏

9、加热方式:电阻丝加热、控制与主机控制关联

10、加热温度:RT-100℃,加热时间最高可设置9999s。温度控制可选择与程序控制关联,也可独立控制(有温度开启设置键)

11、加热功率:AC220V 150W 控温精度:±5℃

12、产品规格:

·尺寸:450mm×280mm×340mm;

·重量:20kg

VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机






































VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机


序号

名称

数量

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1

3英寸制真空吸盘

1个

VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机

2

中心定位器(含4个定位柱)

1个

VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机

3

滴液器

1个

VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机

4

无油真空泵

1台

VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机















VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机

序号

名称

功能类别

图片链接

1

进口移液器

(可选)

VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机

2

国产移液枪

(可选)

VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机

3

其它尺寸的真空吸盘

(可选)

VTC-100PAD真空加热旋转涂膜机



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