混气系统2路质子GSL-2Z

简要描述：混气系统2路质子GSL-2Z是用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外。

产品型号：GSL-2Z
厂商性质：生产厂家
更新时间：2016-04-15
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详细介绍

产品型号	混气系统2路质子GSL-2Z
主要特点	精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便。
技术参数	1、电源：185-245V 50Hz 2、zui大输出功率：18W 3、控制范围：控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM 4、zui大压力：3×10⁶ Pa 5、准确度：±1%FS 6、线性：±0.5-1.5% 7、重复精度：±0.2%FS 8、响应时间：气特性1-4s，电特性10s针阀：316不锈钢 9、工作压差范围：0.1-0.5 MPa 10、压力表测量范围：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） 11、混气罐：Φ80mm×120mm 12、截止阀：Φ1/4″，316不锈钢针阀 13、工作温度：5-45℃
产品规格	尺寸：600mm×600mm×650mm

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