微型PECVD系统

产品型号

  微型PECVD系统

主要特点

  1、加热圈套有石英罩，以减小热量损失。

  2、样品可置于加圈内，以达到更好的加热效率和温度均匀性。

  3、采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序。

  4、设有一滑动法兰安装于移动加上，以便于样品的放入和取出。

  5、已通过CE认证。

技术参数

  等离子源

  1、等离子体射频电源：110/220V  50/60Hz  <100W

  2、输出频率：13.56MHz

  3、射频功率：7.2W、10.5W、18W三档，可调节

  4、腔体尺寸：外径Φ76.2mm×内径Φ68.58mm×长406.4mm

  5、加热圈：电源220V，zui大功率500W，外径Φ50mm×内径Φ40mm×70mm，并套有内径Φ50.8mm×

                        Φ75mm的石英罩

  6、法兰：Φ3″不锈钢法兰，设有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接头、不锈钢针阀

  7、通入气体：可通入多种惰性气体，如N₂、Ar，不可通入易燃易爆性气体

  8、真空度：10^-2torr（机械泵）

  两通道混气系统

  1、浮子流量计：10-100ml/min，2个

  2、针阀：304不锈钢针阀，3个

  3、压力表：-0.1-1.0MPa（0.01MPa/grid），3个

  真空泵

  1、抽气速率：120L/min

  2、接口：KF-25

产品规格

  1、尺寸：等离子源216mm×254mm×203mm，控制盒102mm×254mm×203mm，两通道混气系统340mm×

                   300mm×180mm，移动架600mm×600mm×1250mm

  2、重量：32kg